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臭气可以是以空气、惰性气体或有机物为载体。空气载体臭气通常可以在1400° F 到 1600° F处理。处理效率可以达到90~99%。由于臭气含很少的有机物，需在热氧化炉下游设置预热器加热需处理的臭气以节约燃料。如果有机物含量非常低，并且不含粉尘或其他使催化剂中毒的介质，也可以使用催化焚烧。惰性气体为载体的臭气与空气载体臭气在焚烧处理方式上没有区别，只是需要注入燃烧用空气。
有机物废弃物通常有很高的热值并能自己维持燃烧。下游可以设置锅炉以产生蒸汽。这类热氧化炉的破坏率通常要求超过99.9%，实际上这在相对高的温度下是很容易达到的，且只需要很少的辅助燃料。